第二百三十九章 昆仑出!今日起,扛鼎华夏半导体产业!(1)(2/2)
部分外资,高原说,他和航天集团合作没有问题,因为航天集团的身份清清楚楚,而中芯嘛,明摆着里面有外资的企业,高原是不会合作的。”>
哎~>
大佬们纷纷扶额,某大佬感慨道:“没想到,高原一个私企,却比我们还激进。”>
众人感慨,高原还真是个顽固的家伙,眼睛里容不下一丁点沙子,其实外资在中芯占比本来就不高,组建合资公司再进行一下稀释,应该掀不起多大风浪。>
但高原依然不认可这样的方案,哪怕外资只占百分之一,他也是顽固不肯答应。>
“还有呢?”大佬再问。>
“高原说,如果中芯的事情一时半会儿搞不定,先批准他与长春光机合作也可以,毕竟他们的透镜系统,只是光刻机的零部件之一,还要与相关企业合作,才能整合出完整的光刻机。”吴东明道。>
这个要求非常合理。>
大佬们纷纷点头,世人常常以为,上海微电子是国家队负责搞光刻机项目的,其实不对的极紫外光刻机,一直由长春光机所负责攻坚,代号02专项。>
所谓光刻机02专项,总体架构是这样的。>
清华大学和帝都华卓精科,他们两家负责双工件台系统,目前项目进度比较快,已经基本解决了所有问题,因此,华夏成为是世界上第二个掌握该项技术的存在。>
而第一个拿下双工件台的是荷兰**,他们的inscan技术,已经投产数年时间了,被证明性能可靠。>
浙江大学流体动力与机电系统实验室,与浙江启尔机电,这两家负责沉浸式光刻机的浸液系统,目前已经基本完成,是继荷兰a l和日本尼康之后,全球第三家掌握该项技术的存在。>
准分子激光光源,是中科院光电研究院负责的,传闻目前只能做到40功率,而荷兰a l采用的光源,功率在2019年就达到了250,这方面差距还是比较大的。>
至于荷兰a l的光源供应商,是北美ymer和日本igahoton。>
最后也是最重要的光学系统,由长春光机所负责物镜,上海光机所负责照明,项目进度未知。>
至于荷兰a l的物镜和照明,来自大名鼎鼎的德国蔡司。>
凡是了解摄影的人,应该都知道蔡司的镜片水准有多高,当然了,普通消费者多数并不知道,其实卡尔蔡司集团,还有半导体部门。>
由此可见,所谓全球最强的荷兰a l光刻机,背后其实是标准的万国造,将全世界所有顶级技术堆在一起,才组成了a l极紫外光刻机。>
因此,华夏光刻技术要挑战的不是a l,而是全世界。>
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